中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 803D #9261383 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 803Dは、マイクロエレクトロニクスデバイス製造のための成膜およびイオン注入プロセスを提供するために設計された、高度な拡散炉およびアクセサリ装置です。これは、デュアルチャンバー、垂直移動性を強化拡散炉システムであり、実現可能な蒸着時間内で最適なフィルム成長を可能にする優れたプロセス制御を提供します。TEL Alpha 803D拡散炉ユニットは、質量制限と重負荷の両方のプロセスで動作する独自のシングルソース、デュアルチャンバー炉の設計を特徴としています。また、TOKYO ELECTRON Alpha 803Dツールには、温度、圧力、時間設定などのすべての資産機能を完全に制御できるハイエンドプログラマブルロジックコントローラ（PLC）と、個人保護のための組み込み安全機能が含まれています。Alpha 803Dモデルの炉の部屋は04インチ（1 mm）-厚いステンレス鋼からなされ、100から1,200°C （212から2,192°C）の温度較差を提供します。チャンバーにはMIMOT強化制御技術が搭載されており、チャンバ全体の温度と均一性を制御する際に柔軟性と精度を提供するように設計されています。EMT （Enhanced Mobility Technology）は独自のモビリティ制御装置で、高い均一性、微細性、再現性のある蒸着速度を実現しながら、拡散寿命を延長します。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 803Dシステムは、高度な機能を備えており、成膜、エッチング、移植プロセスにおいて優れた精度、均一性、再現性を提供します。TEL Alpha 803Dユニットには、インシットセンサー、高効率粒子解析機、リアルタイム光学診断ツール、マルチチャンネルガス配送機器など、専門的なアクセサリーもラインナップしています。これらのアクセサリーは、非常に高い安全性と信頼性を提供しながら、資産の柔軟性とパフォーマンスを劇的に向上させます。また、高度なCVDチャンバーを搭載した東京エレクトロンアルファ803Dモデルでは、高品質で均一な成膜を実現し、多種多様なデバイス製造アプリケーションを実現しています。全体的に、アルファ803D装置は、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造に最適です。CVDとMIMOTにより強化された制御技術により、非常に高い温度と均一性の制御、比類のない柔軟性、および効率的で信頼性の高い製造体験を提供するための専門的なアクセサリの完全なラインを備えています。