中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #9026274 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D
ID: 9026274
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、複雑な集積回路構造の効率的かつ効果的な生産を可能にするように設計された先進的な拡散炉およびアクセサリです。TEL Alpha 801Dは最高動作温度1200°Cで、熱酸化、化学蒸着、高温接着など幅広い製造工程に適しています。その独特な設計は大きい水晶プロセス部屋および最高のプロセス安定性および均等性を保証する精密目盛りを付けられた機械および電気システムを特色にします。TOKYO ELECTRON ALPHA 801Dは、水晶モニター、デジタル温度制御、毎秒10°Cまでの急速なランプレートなど、生産効率を向上させる数多くの高度な機能を提供しています。この拡散炉は、デジタルイオンポンプにより、要求されるプロセス雰囲気を優れた精度で完全に再現します。その効率的な窒素パージ機構は、異なるプロセス間にクロス汚染がないことを保証します。Alpha 801Dは、サンプル冷却システム、自動ドアオープナー、RFシールド付き蓋など、その有効性を最大限に引き出すように設計された多数のアクセサリーと統合されています。サンプルホルダーアセンブリにより、プロセスチャンバーへの容易なアクセスとサンプルの操作が可能です。安全面では、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Dには、緊急停止、安全インターロック、放射線監視などの高度な機能があります。この拡散炉は、TEL独自の半導体製造プロセス監視ソフトウェアと互換性があり、安全性と品質を向上させます。全体的に、TEL Alpha 801Dは、高度な機能、使いやすさと信頼性のおかげで、高度なマイクロエレクトロニクス構造の生産のための理想的な拡散炉です。この炉は、生産プロセスを合理化し、微細加工プロセスの効率と精度を向上させ、最も安全な結果を保証するために特別に設計されています。
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