中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293806761 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、集積回路（IC）およびディスクリート半導体部品の製造に使用する拡散炉およびアクセサリスイートです。ハイレベル集積回路製造技術を駆動するように設計されており、高速、高い再現性、高い均一性を特徴としています。TEL Alpha 801Dにはいくつかのコンポーネントがあります。すべてのコンポーネントには、ユーザー入力およびオペレータのフィードバック用のタッチスクリーンコントローラが含まれています。ユーザーはプロセスシーケンスをプログラムし、リアルタイムで設定を変更することができます。これにより、特定のテクノロジーへのカスタマイズが可能になります。炉は可変的な支持の高さの水平に形成された水晶管を収容する外のキャビネットから成っています。垂直方向と水平方向は、プロセスの均一性を高めるために調整することができます。クォーツチューブには、2つのデュアルステージ軸流ファンが装備されており、低速および高速の流れを可能にします（高速アニール用）。この炉には、H2、フォーミングガス、N2、 Ar、またはS-2でシステムを自動的に通電させるガス装置も含まれています。炉は最高プロセス温度1150°Cの300mmまでウエハサイズのために設計されています。拡散ユニットには、電源、電源、ウェーハホルダーが含まれています。この電源は、中周波インバータと高速スイッチング技術を利用しており、高精度なプロセス制御が可能です。このソースには、高密度抵抗型ターゲットと電動石英チューブが含まれており、手動で交換することなく、ホウ素、シリコン、リンなどのターゲット材料を切り替えることができます。ウェーハホルダーは、正圧および平坦制御用に設計されています。ホルダーは、モーター付きベースとマルチゾーンヒーターを使用しており、ユーザーは複数のウェーハ間の温度を独立して調整することができます。TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、制御ツールとリモートサイト間の無線通信を提供しています。これにより、ユーザーはデータとプログラミングを共有し、プロセスをリアルタイムで監視できます。検査資産も含まれており、重要なプロセスパラメータを監視するために使用できます。アルファ801D拡散炉とアクセサリースイートは、ICおよび半導体の作業のための強力で信頼性の高いツールです。自動化、高精度、および改善された均一性を提供し、効率と出力を向上させます。このモデルは非常に大きなウェーハサイズのために設計されており、さまざまなアプリケーションに適しています。