中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #293606609 を販売中
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ID: 293606609
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Furnace, 8"
Fork for 1 to 4
Shutter plate
Heat insulation
U-Box
Back-side panel
Flange
Exhaust duct
Anti-vibration fixture
Water cooling pipe
Exhaust pipe
Cable duct
Gas pipe
Cooling unit Box
Quarts Tube Box 1
Quarts Tube Box 2
Quarts Parts Box 3
Quarts Parts Box 4
Missing parts:
Gas box
M-dot
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、幅広い用途向けに設計された拡散炉およびアクセサリーです。この装置は、さまざまな基板を準備して開発するための効率的で信頼性の高い方法を提供します。直径9インチまでの基板を扱うことができる大型の石英ガラス管を備えており、歪みなく軽量で温度に敏感な材料に対応できます。また、標準的な発熱体から高度な高温誘導ヒーターまで、幅広い暖房オプションがあります。TEL Alpha 801Dは強力な高精度温度制御機能を備えており、指定された範囲内の温度を正確に調整できます。プログラマブルコントローラを内蔵しており、異なる材料やアプリケーションのプロセス設定を正確に調整できます。さらに、複数のセンサーを組み込むことで、リアルタイムで拡散プロセスを監視することができ、801Dチャンバ内の均一な温度分布を提供します。TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、さまざまなサイズの基板を効率的かつ信頼性の高い方法で準備し、開発します。銅とアルミ合金の基板を準備するための高度な窒化物のるつぼのセットを持っており、低融点で材料を処理することができ、それは温度に敏感です。このシステムは、マイクロメタリックおよびサブミクロン粒子構造を確保するためのドーピング技術を向上させています。その他の機能として、プログラマブル不活性ガス拡散ユニット、内蔵のピロメーターと熱電対、真空ポンプがあります。安全面では、アルファ801Dは過熱制御機や炉の過熱を防ぐ安全スイッチなど、洗練された安全機能を備えています。それはまた拡散プロセスの温度を監視することができる多機能の表示スクリーンを特色にします。最後に、短絡保護モジュールを使用して設計されており、ツールが危険な停電に遭わないようにしています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、さまざまな基板の効率的で信頼性の高い調製と開発を提供する拡散炉およびアクセサリです。高度な温度制御機能と、信頼性の高い動作を保証するさまざまな安全機能を備えています。さらに、その高精度な窒化物のるつぼは、異なる材料や用途でマイクロメタリックおよびサブミクロンの穀物構造を可能にします。
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