中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801D #149843 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ801Dは、拡散炉とアクセサリーです。半導体製造や研究など幅広い分野で使用され、各種基板に光学、電気、熱層を堆積させます。これは、複雑なデバイスの製造を支援し、複数のタイプの材料を同時に処理するように特別に設計されています。TEL Alpha 801Dは、ロードロックとサイドウォールメンバーが付属する垂直拡散炉で、本当にオールインワンパッケージです。クォーツクォーツプロセスチューブ（QPT）は高温用に設計されており、優れた均質性を持つ非金属材料と金属材料の両方の拡散を可能にします。プロセスチャンバーにはさらに6ゾーンキャビティベースの加熱装置が装備されており、大量の製品の実行中でも均一な温度を提供します。さらに、サンプル交換機能とフロー制御システムを使用することで、処理サイクル全体で良好な熱均一性を実現します。この炉は温度センサとコントローラで構築されており、プロセスチャンバーの温度条件に関するリアルタイムデータをユーザーに提供します。このデータは、コントローラのLCD画面または付属のSCADAソフトウェアを介して表示することができます。また、リアクタントガスの自動導入を可能にするガスデリバリーシステムと、安全運転を確保するセーフティコントローラーユニット（オプション）を搭載しています。TOKYO ELECTRON Alpha 801Dは、2「から8」までの複数のタイプの基板に対応でき、オプションの基板取扱機で対応できます。また、より良いシーリングのためのアスファルトシーラントが付属しています、漏れやマイクロクラッキングを危険にさらすことなく、より高い温度の拡散を可能にします。Alpha 801Dは、拡散層の正確な生産を可能にするだけでなく、高精度で熱処理を行う強力で汎用性の高いツールです。その均一な温度分布、高温動作、信頼性の高いサンプル交換ツールと統合されたガス供給資産は、様々な基板上の金属層の信頼性と正確な堆積を保証します。