中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #9396147 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Cは、高度なノードへの移行を目指すファブ向けに設計された、次世代の拡散炉およびアクセサリ機器です。洗練された微細加工技術と比類のない性能レベルのウェーハ製造を提供し、アルミニウム金属化やその他の様々なプロセスで最も困難な作業に最適です。このシステムにより、高品質で極めて薄いフィルムを高密度かつタイトな寸法制御で製造することができます。これは、高度な拡散工学、特大ガス流量、温度均一性によって達成されます。TEL Alpha 801Cは大型グラファイトボートと予熱ゾーンも備えています。TOKYO ELECTRON Alpha 801Cは、優れた性能を保証する強力な自動制御ユニットを搭載しています。これにより、ユーザーはプロセス条件が常に制御されていることを確認しながら、速度と温度の非均一性の理想的なバランスをとることができます。セントラルコントロールユニットは、リモート診断機能を備えた大規模なテクニカルディスプレイを展示しているため、プロセスへのアクセス、監視、および制御が非常に簡単です。Alpha 801Cは、優れた安全性と予防保全機能を備えています。非常に柔軟なプラットフォームを備えているため、標準プロセスに簡単に統合できます。有効な漏出検出機械は高温事故に対する最高の保護を保障します。加熱要素も監視され、過熱した場合の不必要な損傷を防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Cは、高度なガス流量と温度均一性を備えています。可変フロー機能により、工具圧力に関係なく特定のガスフローを維持することができ、プロセス実行時の均一性が向上します。このアセットには、精度と精度を確保するための多目的温度制御オプションも含まれています。すべてにおいて、TEL Alpha 801Cは、高度なノードの厳しいプロセス要件を満たすように設計された優れた拡散炉とアクセサリモデルです。それは高いレベルの性能および例外的な均等性を提供します。直感的な制御装置、統合された安全性、予防メンテナンス機能により、高度なノードへの移行を検討しているすべてのファブに最適です。