中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 801C #293608657 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 801Cは、さまざまな工程での効率と品質を向上させるために設計された拡散炉と付属アクセサリーです。このパッケージには、100kWの最適化された電源が搭載されており、高生産性のためのより信頼性と正確な制御を提供します。また、0。3〜5 µmの波長範囲を持つ2つの高感度光学ピロメータにより、正確な温度設定とプロセス測定を可能にします。堅牢なベースフレーム構造により、作業中の安全性と安定性を向上させます。AIベースの温度制御装置は、最も正確で一貫したプロセス条件を保証します。さらに、パッケージには、低真空、拡散およびCVDプロセスの制御を改善するための2つのポンピングシステムが含まれています。TEL Alpha 801Cは、各種操作モードや設定に対応したコントローラーユニットを搭載しています。これは、最高温度とトラッキング間隔を設定するだけでなく、正確な温度範囲を維持するために使用できます。また、部品の故障を自動的に検出し、生産中のダウンタイムを最小限に抑えるように設計されています。コントローラには、さまざまなプロセスに合わせて調整できる事前にプログラムされたパラメータ設定も付属しています。さらに標準パッケージには、処理前後のウェーハ表面をテストおよび監視する品質保証モジュールが付属しています。これは、製品の最高品質を確実にし、ほこりや金属破片などの汚染物質を排除するためです。加工後やウェハ搬送前に表面汚染物質を正確に可視化する自動品質保証機能を搭載しています。TOKYO ELECTRON Alpha 801Cは、生産中のダウンタイムを削減するために、メンテナンスとクリーニングを容易にするように設計されています。いくつかの機能により、クリーニングとメンテナンスを迅速かつ効率的に処理できます。これには、メンテナンスが容易なろ過システム、部品を簡単に取り外して交換できるロックユニット、絶縁および排水部品用のドレンバルブとチャンバー、および稼働中に機械を清掃する自動スクラビングシステムが含まれます。要するに、Alpha 801Cは、幅広い生産プロセスで最高レベルの精度と効率を確保するように設計された最適化された拡散炉と付属アクセサリーパッケージです。最新のコントローラーユニット、品質保証およびメンテナンス機能、および高感度の2つの光学ピロメータを搭載しており、正確な温度およびプロセス測定が可能です。