中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9412409 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、酸化、アニール、拡散などの熱処理を行う最先端の拡散炉です。半導体デバイスの形成、薄膜沈着、電子部品の包装、ドーパントおよび汚染レベルの制御など、さまざまな産業用途に使用できます。TEL Alpha 8にはモジュラー設計が施されており、機能のカスタマイズと拡張が可能であり、必要に応じてメンテナンスや修理が容易です。炉自体は高性能グラファイト断熱材を採用しており、熱損失に強い構造と、優れた熱伝達と低基地温度を提供する両端ヒートシールドチューブを備えています。それは炉を通して均一な温度を維持するのを助ける高速ファン、および炉を安全に密封するのに使用される空気のギャップシール装置がガスかガスの漏出か出口を防ぐのに装備されています。TOKYO ELECTRON Alpha 8には、サセプターカートリッジ、るつぼ、インプラント用ピンアセンブリ、ヒーターパックなど、さまざまなアクセサリーも用意されています。サセプターカートリッジは、炉に積み込むときにサンプルをコンテナ化するために使用されますが、るつぼは液体シリコンとゲルマニウムとの使用のために設計されています。注入ピンアセンブリはフィラメント、マスク、注入ピンを保持するために使用され、ヒーターパックは炉の温度を監視および制御するために使用されます。アルファ8は、真空蒸着プロセス制御システム（VDPCS）やレシピモードコントロールユニット（RMCS）などの高度な制御機能を備えています。VDPCSは、プロセス条件と温度を監視し、プロセスの自動制御と一貫した結果を可能にします。RMCSにより、ユーザーはプロセスレシピを保存、再利用、修正することができ、時間の経過とともに洗練され、改善された結果を得ることができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8にはパーティクルモニタリングマシンが搭載されており、プロセス中の汚染を引き起こす可能性のあるパーティクルの検出と測定に役立ちます。これは、製造された部品の品質と精度を保証するため、高精度プロセスにとって特に重要です。全体として、TEL Alpha 8は高品質の拡散炉であり、その付属品はさまざまな産業用途のニーズを満たすことができる幅広いオプションを提供します。その高度な制御機能、優れた熱伝達ツールと絶縁材だけでなく、簡単にアクセス可能なコンポーネントは、それを信頼性とユーザーフレンドリーにします。