中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9398274 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8
ID: 9398274
ウェーハサイズ: 8"
Furnace, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、さまざまな用途に対応した高度な温度制御ソリューションを備えた拡散炉です。独自のデュアルステージ設計により、非常に高い熱均一性と低熱変動率を提供します。このシステムには、2ゾーンの低放射性上部チャンバと1ゾーンの高放射性ボトムチャンバーが含まれており、柔軟な加熱分布を可能にします。これは、過熱および過電圧に対する完全な保護とともに、電子温度コントローラとデータロギング機能を備えています。TEL Alpha 8は200〜1350℃の広い温度範囲を有し、同じ基板上で複数の動作を行うことができます。酸化温度は、使用される酸化プロセスの種類に関係なく、単一の設定で設定することができます。炉にまた高いエネルギー効率、救う時間およびお金を保障する低い熱損失の設計があります。また、プロセスチャンバーの異物混入を防ぐ高度なガス循環装置を導入し、汚染を最小限に抑えています。また、揮発性および腐食性ガスを効率的に除去し、貴重な部品に最適です。さらに、工具の温度均一性は従来モデルの2倍、ガス冷却効率は従来モデルの50倍に向上しています。TOKYO ELECTRON Alpha 8の優れた温度調節により、酸化プロセスを正確に制御できます。また、プログラム可能な機能を備えたインテリジェントコントロールユニットを装備しており、デバイスの最高の結果を実現するために簡単に操作することができます。直感的なグラフィックインターフェイスにより、操作とメンテナンスが簡素化されます。また、低接地抵抗、低電圧出力、立ち上がり速度タイマー、フォールトトレラントハブなどの安全機能も備えています。TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8拡散炉とアクセサリーは、太陽光発電、半導体製造、機器製造など、多くの産業にとって強力なツールです。その高度な機能は、柔軟性、優れたパフォーマンス、およびデータロギング機能を提供します。広い温度範囲と優れた熱制御を備えたTEL Alpha 8は、生産プロセスを次のレベルに引き上げるための理想的な選択肢です。
まだレビューはありません