中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9387936 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、シングルウェーハ、バッチ操作、拡散炉です。このシステムは、ダイオード、トランジスタ、集積回路などの半導体デバイスに高性能の金属蒸着、酸化、アニーリング処理を提供するように設計されています。オールインワン設計で、100mmから300mmまで幅広いウエハータイプとサイズに対応可能です。高温ゾーン、高速対流ゾーン、絶縁独立制御ゾーンを備えています。このマシンには、プログラム可能な予熱ゾーン、熱安定性を向上させる低温ゾーン、および迅速なメンテナンスとクリーニングのためのクリーンインプレースCIPツールなどの機能も含まれています。また、温度、圧力、ガス流量のデータを読み取るデジタルディスプレイを備えているため、プロセス全体のウエハを簡単に監視できます。TEL Alpha 8には、アセットのパフォーマンスを損なうことなく、プロセスパラメータを簡単に拡張または変更できる高度なソフトウェアも搭載されています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8は、高度な機能により、重要なプロセスに優れた均一性と再現性を提供し、研究環境と生産環境の両方に最適です。