中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243887 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、半導体グレードのウェーハの製造工程向けに設計された拡散炉およびアクセサリーです。それは単一の拡散器の部屋およびプロセスのためのさまざまな付属品を含んでいる大きい印刷装置です。主成分は、半導体ウェーハの表面やエッジにフィルムを堆積させるために使用される熱処理装置の一種である単一の拡散器です。ガス分配システム、高圧ポンピングユニット、プログラマブルコントロールパネルを備えています。チャンバーは、個々のプロセスのニーズを満たすためにカスタマイズすることができ、-100 Cから+1310 Cまでの温度範囲で使用することができます。ガス分配機は、均一で一貫した温度および十分に制御されたプロセスにガスを正確に混合するために使用されます。高圧ポンピングツールは、チャンバーの圧力を正確に変化させるだけでなく、真空源からの加圧ガスやガスを後押しすることができます。プログラム可能なコントロールパネルはプロセスが安全そして効果的に遂行されることを保障します。拡散炉と付属品パッケージに付属するアクセサリーには、石英対流管、シャワーヘッド、取付金具、ドアゴム、ウェハホルダーが含まれます。水晶対流管は超高温への直接露出から表面を保護するように設計されていますが、シャワーヘッドは気体をチャンバー全体に均等に分配するのに役立ちます。取り付けブラケットはチャンバー壁に部品を固定するために使用され、ドアゴムはチャンバーに断熱材を提供します。最後に、ウェーハホルダーを使用すると、ウェーハをチャンバー内で確実に保持できます。TEL Alpha 8拡散炉とアクセサリの高度な性能により、半導体グレードのウェーハの製造に有効なツールとなります。温度範囲により、さまざまなプロセスに使用でき、ガス分配資産は、精密なプロセスのためのガスのより均一な分布を提供します。さらに、パッケージに含まれている追加の付属品は、安全性を高め、モデルの適切なインストールを容易にします。東京エレクトロンALPHA-8拡散炉は、高品質のウェーハを製造するための理想的な選択肢です。