中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #9243886 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、超大型集積（ULSI）回路製造をサポートするために特別に設計された拡散炉および関連アクセサリです。この最先端の統合ツールセットは、マルチガス配送装置、急速熱処理、マルチゾーンホットウォール炉など、さまざまな洗練された技術を備えています。これらの機能を備えたTEL Alpha 8は、最先端のULSI技術を生み出すための効果的なツールです。東京電子ALPHA-8拡散炉は、最大8つのローディングスロットを備えた加熱ゾーン設計を採用し、大きなウェハサイズに対応しています。多ガス搬送システムは、炉およびウェーハ表面を洗浄し、ドーピングおよび拡散をサポートするために、さまざまなガス（N2、 O2、 SF6など）を提供します。このガスユニットは、最も均一で正確なガス分散を確保するために独自のアルゴリズムによって制御されています。この炉は急速な熱処理を利用して、ウェーハ表面に素早くアニール、活性化、浸透、拡散材料を供給します。この高度なプロセスは、プロセス時間を大幅に短縮しながら、均一性、再現性、歩留まりを向上させることができます。さらに、TEL ALPHA-8は、特定のゾーン内のウェーハに均等に熱を分配するマルチゾーンホットウォール炉も備えています。これにより、表面全体で一貫した温度の均一性が保証されます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8は、これまでにないスピードと精度でULSI技術を生み出すことができる高度な拡散炉とアクセサリーセットです。そのマルチガス配送機、急速な熱処理、マルチゾーンホットウォール炉は、優れた性能と比類のない均一性を提供します。TOKYO ELECTRON Alpha 8では、企業に最新のULSI製造における優位性を提供する統合ツールセットを提供しています。