中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293816668 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、最先端のMEMS材料加工技術を支える高性能拡散炉です。優れた均一性、均質性、再現性に優れ、高品質のMEMSデバイスを提供します。このモデルは、最大8インチの負荷容量を備えており、幅広いアプリケーションを可能にします。その精巧なデザインは、石英ガラス管の構造から特別にコーティングされたステンレス鋼の内部チャンバーまで、複数の保護層で構築されています。これにより、（1）チャンバー内の温度の優れた均一性と（2）最適な酸化制御と均一な温度分布のための優れた気流特性が保証されます。さらに、高保護セラミック断熱層を炉室の周囲に設置し、安全性を高めています。炉は、水平または垂直のプロセスチャンバーとして操作することができます。コンパクトな設計と取り外し可能な設計により、あらゆる操作エリアに簡単に設置およびセットアップできます。低臭気、環境に優しい単相ハロゲン冷媒は部屋の温度を時間の経過とともに正確に安定した保つのに使用されています。従来の拡散装置と比較して、TEL Alpha 8は優れた性能を発揮し、消費電力を大幅に削減します。これは、精密温度制御を可能にする高度なPID技術のおかげで可能になりました。さらに、多段式温度制御システムは、所望のランプレートを維持しながら、炉の拡散特性を正確に制御することができます。また、ガスの圧力や均一性を監視するためのサーマルセンサーを内蔵しています。また、正確な温度測定のための赤外線ピロメーターも含まれています。その結果、東京電子ALPHA-8拡散炉は優れた製品品質を保証し、経済的なMEMS生産のための歩留まりを向上させることができます。