中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293738371 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、半導体チップなどの電子部品を製造するために設計された最先端の拡散炉です。この拡散炉は、優れた温度制御と圧力制御を可能にする高度な技術を備えています。また、最大8 ウェーハ/hの最適な出力効率を提供します。TEL Alpha 8は、低圧、シングルウエハ加熱式ホールディングチャンバーを備えています。特に温度に敏感な基板において、材料の拡散に優れた環境を提供します。また、革新的で調整可能なソース電源制御ユニットを使用して拡散電流を調整し、最高レベルのプロセス一貫性を実現します。この拡散炉はまた、処方シーケンス、シャットダウンシーケンス、最適温度、圧力、およびフラックスフィードレート制御のメンテナンスなど、個々のウェーハプロセスを正確に監視することができる統合された自動システムを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8には、安全で効率的な操作のための十分に工夫された電気システムもあります。それに拡散プロセスの間に安全を保障するあらゆるガス回路のための2つの独立した回路があります。その断熱材は最高品質であり、その温度制御システムは、各アプリケーション中に最適な温度を維持することができます。ALPHA-8は多目的な用具であり、特定の適用のために統合することができる多数の付加的な付属品があります。これらには、RFヒートシンクホルダー、ハロゲンランプ、集塵ダストパン、拡散プロセスをサポートするための大きなプラットフォームが含まれます。さらに、クオーツチューブ、スプリング、アダプターなど、さまざまな追加コンポーネントを使用して、拡散プロセスを効率的に完了できます。最後に、Alpha 8は、偶発的な衝撃を防止し、常に適切な動作を確保するための追加の予防措置を講じることにより、その枠組みの中で安全性を強調しています。非常停止ボタン、非常停止バルブ、クイックディスコネクトプラグを装備し、安全性と利便性を最大限に高めています。TOKYO ELECTRON Alpha 8は、EMCおよびFCC規格に準拠して設計されており、長期的な信頼性と優れた結果を保証します。
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