中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8 #293594535 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8は、TELが開発した拡散炉と付属品です。高度な堆積アプリケーションをサポートするように設計されています。このハイエンド機器には、2レベルのゾーン制御炉、独立したプロセスチャンバー、および統合された処理ソリューションのためのハイレベルなソフトウェアコントロールパッケージがすべて1つのパッケージに含まれています。TEL Alpha 8は、最大2500°Cの高温加熱範囲と10：1のプロセス制御精度を提供します。この炉には、強力な「クロスレベル」温度制御パッケージと、チャンバー全体の均一性を確保するための完全に調整可能な酸素センサーが付属しています。さらに、このシステムは複数のガス流量制御モードと炭化シリコン絶縁を提供し、高速で均一なサイクル時間と優れた再現性を保証します。付属のプロセスチャンバーは、耐食性、低メンテナンス操作、および高レベルのプロセス制御を提供します。このユニットは、材料の自動積み下ろし、真空レベルのレギュレータ、不活性ガス装置パッケージ、不活性ガス圧力レギュレータ、およびin-situおよびex-situ処理用の不活性ガス多様体も提供します。さらに、TOKYO ELECTRON Alpha 8は、すべての主要なプロセスパラメータを包括的に制御するカスタマイズ可能なソフトウェアコントロールパッケージを提供します。これには、グラフィカルディスプレイを備えたフル機能のユーザーインターフェイスが含まれており、エミュレーション、パラメータ調整、および予期しない状況の回復オプションが簡単に行えます。このマシンには、現場での監視とオートチューニングのための高度なデジタルデータ収集パッケージも含まれています。要するに、Alpha 8はハイエンドの蒸着アプリケーション用の強力な拡散炉および関連アクセサリパッケージです。それは部屋中の均一性を保障する大きい温度較差、精密な制御パッケージおよび十分に調節可能な酸素センサーを提供します。プロセスチャンバーは、耐食性、低メンテナンス操作、自動化された材料のローディングとアンロードを提供します。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8には強力なソフトウェアコントロールパッケージが付属しており、主要なプロセスパラメータを包括的に制御できます。