中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9412408 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、フィルム成膜、バッチプロセス、シングルウェハプロセスに使用される拡散炉およびアクセサリーユニットです。このユニットは、シリコン、酸化物、窒化物などのさまざまな基板上に薄膜を作成するのに最適です。効率的で費用対効果が高く、高品質のフィルムを製造することができます。TEL ALPHA-303Iは、拡散炉、ウエハカセット、ロードロックチャンバーの3つの要素で構成されています。拡散炉は、非常に高い温度に達するために、不活性ガス、アンモニア、水素などの高温ガスで満たされた密閉チャンバーです。これは、材料を蒸発させ、基板に堆積させるために使用されます。ウエハカセットは、2インチ基板の最大54個を保持し、炉に材料を供給する責任があります。ロードロックチャンバーは、汚染のない基板を急速に格子に転送するために使用されます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303マルチゾーン温度コントローラ、基板加熱装置、石英シャワーヘッド、強力なセラミック赤外線対流ヒーターなど、多くの高度な機能を備えています。マルチゾーン温度コントローラにより、チャンバー全体の温度精度と制御が可能になり、加熱システムは基板の温度を調整します。水晶シャワーヘッドは、基板上のガスの均一な分布を提供し、堆積膜の均一性を向上させるのに役立ちます。セラミック赤外線対流ヒーターは、基板の正確かつ一貫した加熱を保証し、ユーザーにフィルムの厚さと組成を完全に制御します。このユニットには、危険な状況からオペレータを保護するように設計された安全ユニットも装備されています。これは、不正アクセスを防ぐためのセキュリティマシンと拡散室内の圧力を監視する圧力制御ツールを内蔵しています。さらに、Alpha 303iには、拡散炉の内部の温度、圧力、その他のパラメータを測定するモニタリングアセット、ならびにユニットの安全で効率的な動作を容易にする医療用ガスおよび排気システムを反映するモニタリングアセットがあります。ALPHA 303 Iは強力で信頼性が高く、メンテナンス可能な拡散炉とアクセサリーユニットです。高精度な温度制御と、幅広い基板用の高品質なフィルムを製造するための自動化されたプロセスを提供します。その高度な機能の様々な、それは研究や商用アプリケーションのための理想的な選択肢です。