中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9398273 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、ターミナル酸化・CVD用の高機能拡散炉です。このデバイスは特に、動的ランダムアクセスメモリ（DRAM）、フラッシュメモリ、マイクロエレクトロニクスデバイス製造などの半導体デバイスの製造用に設計されています。この拡散炉は、± 2°Cの印象的な温度均一性、± 1°Cのポインティング精度の正確な温度制御、200°C-1200°Cの広い温度範囲など、多くの機能を備えています。また、軽量でコンパクトなウェーハ加熱ボウル設計とアーク形状により、高速なウェーハ加熱が可能です。また、TEL ALPHA-303Iには、マルチガスドック、ガスパネル、周辺機器など、様々なアクセサリーが搭載されています。また、TELグローブボックスと一体化し、ウェーハの効率的な取り扱い、プロセスガスの供給、真空生成の制御を可能にします。さらに、アルファベットスープエッジングツールは、処理された部分の滑らかなエッジプロファイルを可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Equipment Controllerを搭載しており、操作や監視が容易に行える。これには、直感的なオペレータインターフェイスと自動的にエラーを検出できる自己診断システムが含まれます。また、過圧による損傷からウェーハを保護するための高圧遮断ユニットを備えています。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、FinFETデバイスの処理を可能にするDCバイアスマシンを搭載しています。すべてにおいて、TEL Alpha 303iは半導体デバイスの製造に非常に適した強力で信頼性の高い拡散炉です。それは温度の均等性および正確さの高い程度、および容易な操作のためのさまざまな付属品を提供します。