中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9384277 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9384277
Vertical anneal furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、製造工程の効率化を目的とした付属品の拡散炉です。その高度な技術は、PID制御ヒートゾーンTM技術を利用しています、間接ガス加熱の革命的な組み合わせ、直接電気加熱、ゾーンごとの温度制御アルゴリズム、最適かつ反復可能な拡散プロセスを提供するために。TEL ALPHA-303Iは、4ゾーンの水平再循環(HRC)チャンバーを備えており、各ゾーンの温度を正確に制御できます。これにより、製品の温度、温度の均一性、および寸法間温度差を正確に制御できます。HRCはまた、高品質の最終製品を確保するために拡散全体で均一な加熱を維持するのに役立ちます。HRCプロセスはまた、基板材料の熱負荷を低減し、プロセス中の損傷を最小限に抑えるのに役立ちます。PID制御ヒートゾーンTM技術は、可変ガス組成源チャンバと組み合わせて、各コンポーネントに最適な蒸着パラメータを選択することができます。これは、プロセスのステップ時間を最小限に抑え、歩留まりを最大化するのに役立ちます。東京電子ALPHA-303私はまた、ドーパントやエッチング剤などの拡散プロセスを強化するために拡散チャンバーに特殊ガスを導入することを可能にします。TEL ALPHA 303私は統合されたガスラインルーティングと浄化システムを持っています。これにより、ユーザーは1つのチャンバーですべての拡散ガスにアクセスすることができ、より簡単で迅速なセットアップと切り替えが可能になります。このシステムはまた、リアルタイムで本質的なガス純度監視とアラームを提供し、不要な市場の欠陥が発生するのを防ぎます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303直感的なユーザーインターフェースを搭載し、セットアップから完成までの拡散プロセス全体を監視できます。このインターフェースを通じて、ユーザーはガス濃度や温度などの情報にアクセスし、必要に応じてそれらを調整して目的の結果を得ることができます。全体として、TEL ALPHA-303 Iは、製造工程の効率を向上させるための多数の機能を備えた先進的な拡散炉です。PID制御ヒートゾーンTM技術、チャンバー設計、ユーザーインターフェースの組み合わせにより、ALPHA-303Iは信頼性が高くユーザーフレンドリーな拡散炉です。
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