中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9383859 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9383859
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体製造に特化した先進的な拡散炉およびアクセサリーパッケージです。この最先端の装置は、熱処理、金属蒸着、接触穴の開口部、およびその他のクリーンプロセスでの使用に適しています。これは、3ゾーン断熱チャンバー、画期的な冷却システム、およびプロセスパラメータに対する前例のない制御を備えています。TEL ALPHA-303Iのチャンバーは、最大1250°C (2300°F)の温度に達することができます。プロセスと温度の両方のパラメータを制御するユーザーインターフェイスを使用して操作し、最大の精度と制御を実現します。また、炉には画期的な冷却ユニットが装備されており、急速かつ再現性のある冷却を可能にします。これにより、処理時間が短縮され、一貫性のある結果が得られます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I付属のアクセサリーパッケージには、クォーツローラー、ウェーハートレイ、クォーツソケット、クォーツカバープレート、クォーツボート、サセプター、ハニカムなどが付属しています。これらは、最適化された反復可能な均一性と最大の生産性を確保するように設計されています。例えば、クォーツローラーとウェーハトレイは、ウェーハの裏面と接触穴の開口部を均一にするように特別に設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は半導体製造、金属成膜、熱処理、および接触穴の開口部のための革新的なツールです。その最先端の機能とアクセサリーパッケージは、これらのタスクのパフォーマンスのための非常に効率的で高度なマシンになります。付属のユーザーインターフェイスにより、炉の制御と操作が容易になり、ユーザーは前例のないレベルの再現可能な精度と生産性を実現します。
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