中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9381867 を販売中
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ID: 9381867
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
LP-CVD Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VMM-56-306
FUJIKIN Air valve
Gas: SiH4 / SiH2Cl2 / N2O
Power requirements: Three Phase, AC 440V / Single Phase AC 208V
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Diffusion Furnace&Accessoriesは、半導体メーカーの機能を強化する最新のツールです。このデバイスは、炉の全範囲にわたって反復可能で予測可能で一貫した温度を作成する3ゾーン炉の設計を使用しています。TEL ALPHA-303Iの統合マイクロプロセッサ制御、プログラム可能な電源、および分岐フォロワーアームは、標準炉の設計にはない素晴らしい精度と精度を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I Diffusion Furnace&Accessoriesも優れた制御と自動化を提供しています。内蔵のディスプレイは、温度、サイクルタイムなどを管理するための読みやすいメッセージとカスタムオプションを提供します。直感的なコントロールパネルにより、技術者は特定のデバイスパラメータとアプリケーション要件に応じて炉パラメータをカスタマイズできます。デカップリングされた温度制御により、技術者はさまざまなゾーンの温度設定を独立して制御することができます。ALPHA-303私は広い領域の効率的なカバレッジを提供するように設計されています。広いカバレッジ範囲とガスフロー分布の精密な制御により、より大きなウェーハの均一な溶融が可能です。内蔵の超急速冷却機能により、ユーザーは高エネルギープロファイルと低エネルギープロファイルをすばやく切り替えることができ、冷却サイクルを待つ必要がありません。このデバイスは、小規模生産要件だけでなく、大規模で連続的な生産作業にも対応できます。TEL ALPHA 303 I拡散炉及び付属品はまた優秀な安全システムを特色にします。自動的に調整された温度およびガスの流れのレベルは潜在的な危険な条件からオペレータを保護するのを助けます。物理的な安全ドアには、開放状態の技術者に警告するセンサーが装備されています。一方、プログラム可能な安全プロトコルは、不正なアクセスと操作を防ぎます。全体として、TELTEL ALPHA-303 I拡散炉&アクセサリーは、一貫した性能と優れたレベルの制御を提供する非常に信頼性が高く安全なデバイスです。温度データをリアルタイムで表示し、信頼性の高いメルトダウン保護を提供することにより、TEL Alpha 303iは、生産、エンジニアリング、研究開発施設に優れた選択肢を提供します。
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