中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9376848 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9376848
Vertical anneal furnace Process: TEOS Does not include HDD.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、信頼性が高く、効率的で安全な拡散アニーリングと絶縁プロセスを提供するために設計された拡散炉とアクセサリーセットです。プルバイリフト方式の標準拡散チャンバーを備えています。炉は、焼きなましプロセスを制御するために、アトマイザー層、真空ポンプ、安全メカニズムと冷却サイクルシステムで構築されています。このシステムは耐温性があり、酸化に抵抗する高度な材料が含まれています。その最大温度範囲は1150°Cです。TEL ALPHA-303Iは、ウェーハの自動積み下ろしを容易にする水冷ウェーハステージを備えています。ウエハステージに加えてALPHA-303パワフルな石英加熱チューブを搭載し、より高速なアニーリングプロセスを実現しています。それにまたより大きい温度の正確さおよび均等性制御を提供する水晶流れの管があります。水晶チューブノズル設計により、湿度センサーが湿度を調節しながら、チャンバーを清潔に保ちます。安全と規制のために、緊急時には緊急停止スイッチと圧力シーケンスバルブを備え、チャンバー内の圧力を調節するのに役立ちます。また、加熱サイクル中の空気漏れを防止するエミッションロック機構を搭載しています。ALPHA-303Iの堅牢な設計により、チャンバ内の温度変化を防止し、絶縁プロセスを確実に維持します。さらに、パワースイッチング機能により、加熱サイクルの強度をアプリケーションに合わせて素早く調整できます。利便性に関しては、TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iは高度にカスタマイズ可能です。それは作り付けの手動制御およびユーザーが容易に炉をプログラムし、変数を変え、そしてプログラムの細部を変更することを可能にするコンピュータ化されたオペレーティングシステムを備えています。さらに、加熱素子、センサー、タイマーなどの幅広いアクセサリーが付属しており、ユーザーはアニーリングプロセスをカスタマイズできます。TEL ALPHA 303 Iは高度で信頼性の高い拡散炉で、多くの機能とアクセサリーを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、耐久性と汎用性のおかげで、拡散アニーリングおよび絶縁プロセスに最適なオプションの1つです。
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