中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9373070 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、ヒーターチャンバー、ロードロックチャンバー（LLC）、排気ポンプ、排気設備の4つの部品で構成される拡散炉とアクセサリーです。ヒーターチャンバーは、アルミナ管、高耐熱グラファイト材料、高絶縁性マイカで構成されています。部屋の内部にはモリブデン断熱材、アルミナボディ、アルミナウィンドウが装備されています。一方、LLCは、サンプルがチャンバーに滞在する必要がある時間を短縮するために使用されます。このチャンバーには、三相発電機で駆動される交流電流を利用し、試料チャンバへの効率的なガス流量を可能にするガス清浄機が内蔵されています。排気ポンプはヒーター部屋の温度を制御するのを助け、サンプルの遅い暖房そして冷却を可能にします。排気設備にはファンモーター、空気除去フィルター、排気パイプがあります。排気設備は、ヒーター室が使用されている間、チャンバー内の換気条件を維持するために使用されます。すべての部品はコンピュータによって監視され、調整され、炉の中の温度そして圧力の有効で、精密な制御を可能にします。また、TEL ALPHA-303Iは柔軟性を高め、温度範囲を拡張しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、優れた性能により、半導体メーカーをはじめとする幅広い企業の要求に応えるよう設計されています。