中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353373 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9353373
ウェーハサイズ: 12"
Furnace, 12" Poly cure.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、高性能な拡散炉とアクセサリーです。この装置は、CMOS、 BiCMOS、 BiMOSデバイスなど、半導体生産のための小型で複雑な構造を作成するための先進的な装置です。TEL ALPHA-303Iは長さ82インチ(2。1 m)、高さ43。3インチ(1。1 m)で、広いが比較的スペース効率の良い装置です。重量は5トンで、32位置のウォーターストリップチャック、後部望遠鏡チャンバー、デュアルサイクロンサイクロン再循環システム、および清浄機の遠心分離機が含まれています。この拡散炉には、前後に複数のキャリアが装備されており、一度に最大5つのウエハを収容でき、大気排気ユニットが制御された雰囲気を作り出します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、プログラム可能な高速ヒーターと独立したケトル操作により、優れた処理効率とスループットを提供するように設計されています。正確な温度制御のためのマルチスペクトルコントローラ、リアルタイムモニター、安全な操作のための真空インターロックマシン、安全でない状態に自動的に応答する緊急シャットオフスイッチが含まれています。このモデルの高度な設計により、ユーザーはハロゲン濃度を評価し、操作中にプロセスパラメータを調整することもできます。ALPHA 303 Iの優れた性能と設計により、半導体加工に最適です。この最先端の拡散炉とアクセサリーは、精密な温度制御と高いスループットを提供し、幅広いデバイスでの複雑な構造の信頼性の高い製造を保証します。この高度なツールは、直感的なコントローラ、緊急停止スイッチ、自己診断資産を備えており、信頼性が高く、効率的で正確な半導体製造と研究のための人気のある選択肢となっています。
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