中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9353372 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体業界向けの拡散炉・アクセサリー機器です。TEL ALPHA-303Iは、半導体製造プロセスにおけるアルミニウム相互接続の蒸着およびアニール用に設計された「モジュール」と呼ばれる3つの小さな炉、高度な制御システム、および様々なサポートシステムを内蔵しています。直感的なHMI （Human Machine Interface）により、オペレータはネットワーク内の端末からTOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iを素早く簡単にセットアップおよび制御できます。モジュール設計はそれを信じられないほど柔軟にさせ、付加的な装置を購入することなくカスタマイズを可能にします；ユーザーは、それぞれの複雑さのさまざまなサイズとレベルの集積回路構造を製造するために必要な正確な仕様を提供する専用モジュールから選択することができます。拡散、前炉、後炉の3つのモジュールは完全に交換可能であり、時間と技術の進歩によってアップグレードすることができます。TEL/TOKYO ELECTRONでは、3つのモジュールを1つのユニットとして制御することでALPHA-303従来のシステムに比べていくつかの利点を提供しています。各モジュールの自動化と最適化、フローガスの調整、すべてのコンポーネントの監視性能により、このマシンは信頼性と効率性の両方を実現します。さらに、TEL ALPHA-303 Iの3つの異なるモジュールを同じツールで制御する機能により、プロセスの柔軟性とコスト削減が可能になります。複数のセンサーを搭載したTOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、あらゆるプロセスパラメータを正確に監視・記録することができ、リアルタイムでのパフォーマンス分析や最適なプロセス条件の維持が可能です。また、CTU （Chamber Temperature Uniformity）制御アセットも備えており、拡散チャンバの表面全体の温度の変化を自動的に補正し、熱均一性を大幅に向上させ、再現性の高い結果を得ることができます。ALPHA-303Iの先進的な設計により、マスフローコントローラ、ガスライン、真空システムなど、さまざまなシステムやコンポーネントとの統合も可能です。これにより、再現性や歩留まりを犠牲にすることなく、拡散プロセスから最大の性能を得るためにモデルをカスタマイズすることができます。Alpha 303iは耐久性に優れた信頼性の高い拡散炉であり、性能、効率、柔軟性、コスト削減を兼ね備えたアクセサリー機器であり、大量の半導体製造には費用対効果の高いソリューションです。