中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9350835 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303iは、半導体製造に使用される最先端の拡散炉です。これは、集積回路の製造に不可欠なプロセスである熱酸化を実行するように設計されています。この強力で信頼性の高い炉は最高温度1350°Cで、直径8インチまでのウェーハに対応できます。TEL ALPHA-303Iは、高温での酸化・変形に強い高品質な素材を使用しています。それは均一な熱配分のための精密な温度調整そして優秀な安定性を特色にします。内蔵の不活性ガス供給装置は、酸化プロセス中の酸素汚染を排除します。これにより、優れた膜均一性と大幅に改善された収率が保証されます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私はプロセス制御機能の広い範囲を提供します。デジタルコントローラ、アラーム、センサー、フィードバックシステムを備えており、電力不足や部品の小さな故障時でも一定のプロセス実行を保証します。部屋は有効な維持および高い信頼性のための単一部分のステンレス鋼から、成っています。その酸化の指定は元のウエハの指定の0。5％以内にあります。炉はまた、より効率的で費用対効果の高い生産のためのアクセサリーの数を提供しています。これには、ウェハ容量3,000個の2つの追加コンベアと自動ローディングユニットが含まれます。自動ローディングマシンは、RFIDリーダー、温度モニター、スピードアジャスター、ウェハホルダーを備えており、正確なプログラマブル配置が可能です。TEL ALPHA 303 Iは、使いやすさ、優れた信頼性、および正確な温度制御を提供する高性能拡散炉です。その組み込まれた付属品は、大規模な生産に最適です。TEL Alpha 303iは、信頼性の高い設計と優れた性能により、信頼性の高い高性能な集積回路の製造に最適です。