中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311030 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、電子ビームおよびイオン注入プロセス用に設計された拡散炉とその付属品です。このタイプ炉は、高純度の金属や合金を作成するために使用される汎用性の高いツールです。TEL ALPHA-303Iは、すべての電気制御と低熱質量設計を備えており、温度の均一性とプロセスの再現性を正確かつ厳密に制御します。最適化されたプロセスチャンバーで設計されており、より高速な加熱および冷却サイクルと改善されたプロセス制御のために、低スイープ型マイクロ波加熱素子を使用しています。この炉には、ガス相の処理に対応する排気装置、自動化されたサンプル積み下ろし、ハンズフリーのウェーハ操作、導体および酸化プロセス用の高圧対応サンプルホルダーなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。また、高純度金属や合金を生産しながら汚染を最小限に抑えられる優れた表面放射セルを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303過温度保護のためのオートシャットオフや、危険な状況下での起動を防ぐためのインターロック検出システムなどの安全機能を向上させました。また、腐食や酸化レベルを報告する腐食検出センサを搭載し、異常な動作条件への迅速な対応を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、高効率で便利に設計された製作ツールで、温度ディップや勾配を最適に補正するための革新的なユニットを備えています。取り外し可能な炉ボディを備えたこの固定設計は、シンプルで効率的な輸送を可能にするロープロファイルを備えています。ALPHA-303私は多くの種類のナノ加工ツールやラボに統合する準備ができています。これは、品質保証と長期的なパフォーマンスのために、グローバル認証センター(GCC)によってテストされ、認定されています。メンテナンスルーチンの簡素化、薄型設計、信頼性の高い性能により、精度と精度を備えたシームレスな製造のための高品質のマシンです。
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