中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9311027 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9311027
Nitride furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i拡散炉は、半導体をはじめとする業界独自の要求に応える超高精度拡散加工用のハイエンド工具です。TEL ALPHA-303Iは、自動高効率ガス配分装置、独自の温度制御システム、多種多様なプロセス制御機能など、幅広い機能を備えており、さまざまな拡散処理タスクを効果的にサポートします。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、拡散処理のための包括的なソリューションを提供する拡散炉のTELラインに最新の追加です。その正確な温度制御は、クォーツるつぼとユニークなボルテックスプラチナシリーズコントロールユニットによって達成されます。プロセス制御機能には柔軟な設定があり、大気や時間制御を含むさまざまなパラメータを可能にします。さらに、Alpha 303iは多軸マルチゾーンシミュレーションも備えており、プロセス条件を3Dプレビューできます。TEL Alpha 303i拡散炉は、他の炉と比較してより高いガス流量を提供するように設計された最新のガス流通システムを備えています。高度なコントローラ技術を採用し、高い信頼性と処理条件の整合性を確保しています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303ワーキングスペースからの排出を削減する独自の排気機能も備えています。さらに、拡散炉は、生産ラインにエネルギーとコスト効率を提供するように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303I拡散炉は、安全性を確保するため、ドアや蓋のロック、過厚度の警報システムなど、幅広い安全機能を備えています。また、インパルス検出機能を備えており、温度およびプロセス条件をリアルタイムで検出します。過熱から保護するために、ALPHA 303 Iには、設計仕様を超えて炉が温度に達するのを防ぐチタン水晶Hi-Tecラッチ機が装備されています。ALPHA-303I拡散炉は、大規模な精密拡散処理を必要とする企業にとって理想的なツールです。最先端のデザインと機能を備えたTEL ALPHA-303 Iは、幅広いプロセス要件に対応するソリューションを提供します。その信頼性の高い品質と柔軟性は、あらゆる規模のビジネスに最適です。
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