中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9281325 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9281325
ウェーハサイズ: 12"
LPCVD Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、ウエハやIC回路の工業生産用の高度かつ高効率な拡散炉およびアクセサリパッケージです。さまざまなアプリケーションで使用される複雑な設計を作成する際に、最高のスループットと優れたプロセス制御を提供するように設計されています。TEL ALPHA-303Iは、PIDクローズドループ制御システムを使用して、チャンバー内の温度を正確に調整する大気圧力制御装置を備えています。これにより、チャンバー全体にわたって非常に均一な温度環境を作り出し、連続生産中の熱流動を低減することができます。また、プロセスコントロールユニットを自動化し、さまざまな事前にプログラムされたパラメータと時間を自動化して、正確かつ正確な結果を保証します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私はまた、長期の高温生産サイクル中の酸化を最小限に抑えるのに役立つ効率的な冷却機で設計されています。冷却ファンアセンブリは、チャンバー全体に流れる冷却剤を循環させるのに役立ち、PIDクローズドループ制御ツールをさらに最適化してエネルギーコストを削減することができます。さらに、内蔵の熱元交換器は、拡張使用時に正確で一貫した温度を維持するのに役立ちます。この拡散炉と付属品パッケージには、ハイエンドの工業生産プロセスを支援するためにカスタマイズされたいくつかの重要なコンポーネントも含まれています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303超高真空蒸発器などの複数の発熱体や、より重いウェーハ積載システムをサポートします。さらに、内蔵のSMIFポートは、最大4つの個々のウェーハバンドルを安全かつ安全にロードできるように設計されています。オペレーションの安全性を高めるため、ALPHA 303 Iにはフェイルセーフ窒素とアルゴンのパージングシステムが標準装備されています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、製造の生産性を最大化し、エネルギーコストを削減するために設計された、高度で高効率な拡散炉とアクセサリパッケージです。TEL ALPHA 303 Iは、PID制御アセット、冷却モデル、各種加熱素子、SMIFポート、窒素パージングシステムを備え、工業生産プロセスで優れた結果を達成するために探している人のための理想的なパッケージです。
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