中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9269364 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、マイクロエレクトロニクス業界のニーズに合わせて設計・製造された拡散炉です。最大温度制御、ダウンタイムの最小化、歩留まりの向上を実現するシングルウェーハ炉です。TEL ALPHA-303Iは、ステンレスで構成されたシングルウェーハプロセスチャンバーを誇り、優れた性能と長寿命の安定性を提供します。このユニットは、3方向270度の回転で統合された設計を備えており、ウェーハの上面と下面を均一に加熱することができます。加熱装置は、ハイエンド抵抗素子とセラミックヒーターを組み合わせて構築された高度な間接加熱素子を使用し、最大1300°Cの大きな温度範囲を可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、ラジアルフロー型調整室と合金ガス排気セルからなる画期的な16ゾーンの大気制御システムを使用しています。各16ゾーンの温度は独立して継続的に監視され、温度制御と熱生産性の低下を可能にします。独自のRAD設定内壁構造により、クーラントラジエーターの必要性もなくなり、コストを大幅に削減できます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iのハイエンドオプションは、さらなる効率性と生産性を提供します。先進の電源コンバータを搭載しており、希望する温度を実現するために幅広い出力電流を利用できます。また、高精度マスフローコントローラとトリプルバルブ制御ユニットは、幅広いガスオプションを利用しながら、安定した内部雰囲気を維持します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iは、いくつかの機能を追加できるように設計されています。その作り付けのロックダウンボタン、緊急警告回路および自動停止機械は事故を防ぎ、安全な操作環境を確保するように設計されています。その高度な安全アラームツールはまた、必要に応じて警告を発行します。ALPHA 303私はあらゆるマイクロエレクトロニクスの実験室のための完全な選択です。それは1つの非常に有効なパッケージの優秀な制御そして安定性の信頼できる暖房温度を、すべて提供します。