中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251688 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体製造プロセス向けに設計された高性能拡散炉およびアクセサリーです。基板ドーピング、浅いトレンチ分離（STI）、ウェーハデボンディングなど、さまざまなタスクを実行できます。この炉には最先端の垂直反応器が装備されており、チャンバー全体で正確な温度と均一性を保証します。最大温度は1,800 ¬ ∞ Cで、プロセスチャンバー全体で± 2 ¬ ∞ Cの均一性があります。また、高速水冷装置を備えており、迅速かつ効率的な冷却を実現しています。TEL ALPHA-303Iは、効率を最大限に高める様々な機能を備えた先進炉です。最大64の異なるレシピを備えた高度に構成可能なメモリを備えており、迅速かつ簡単に保存およびリコールできます。これにより、効率的な操作と迅速なターンアラウンドタイムを可能にします。また、チャンバ内のプロセスパラメータを追跡し、最適な条件下でプロセスが発生していることを保証するリアルタイム監視および制御システムが装備されています。プロセス能力に加えて、TOKYO ELECTRON ALPHA-303私はまた、優れた安全機能を提供しています。それは操作の間に最高の熱保護のための多数の層の絶縁材の高度の絶縁材の単位と組み立てられます。この炉には、安全のための多数のインターロックと、緊急時にガスと電力を遮断する緊急遮断弁が装備されています。TEL Alpha 303iには、AFMユニット、チャンバー間でウェーハを転送するためのキャリアエレベーター、ウェーハアライメントマシンなどのフルスイートのアクセサリーが付属しています。これにより、ツールのセットアップ時に最大限の柔軟性が得られ、ウェーハのロードとアンロードが迅速かつ正確に行われます。結論として、Alpha 303iは高性能および安全のための優秀な特徴を提供する最先端の拡散炉および付属品です。高度な温度制御および監視機能、高速処理機能、およびその機能を強化するさまざまなアクセサリが装備されています。それは信頼でき、有効な拡散の炉を要求するだれでものための理想的な選択です。