中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251686 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、最高レベルの純度、均一性、再現性を備えたハイエンドフィルムを提供するために設計された最先端の拡散炉およびアクセサリーです。幅広い素材を素早く加工できる先進技術を特長としています。TEL ALPHA-303Iは、3ゾーン加熱装置を備えた多段炉で、高品質で再現性のある深反応性イオンエッチング（DRIE）および熱酸化プロセスを提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、酸素、窒素、またはシリコン水素ガスを供給する独自のプラズマ生成チャンバーを使用して、様々なプロセス条件を修正し、均一性と純度を向上させます。温度プログラミングと温度マッピング機能を備えたアクティブ温度および圧力染色均一性制御システムを備えています。ALPHA-303Iは、時間変化の流れから正確なタイミングのガスパルスまで、さまざまなガス供給技術も可能です。この機能により、ユーザーは正確な成膜とプロセス制御を実現できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iには、多点監視システムが内蔵されており、圧力、温度、ガス流量、酸素濃度など、さまざまなプロセスパラメータのデータを収集することができます。このデータは、均一なマップを作成するか、ツールを最適化するために使用されます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iはマルチタンクガスデリバリーユニットです。低圧または高圧の構成を選択して、さまざまなプロセスに有益な雰囲気を確立することもできます。電子キャプチャマシンには、クォーツクラッドRFインダクタと周波数を制御するためのRF電源が付属しています。これにより、静電気コーティング、スパッタリング、およびPVD処理を行うことができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303リフトオフプロセスや、ドアの自動開閉と屋根のインアウトモーションを備えた高度なベーキングモードも備えています。リフトオフプロセスは、ウェーハバイアスエッチング、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、およびその他の表面処理に使用して、フィルム品質を向上させることができます。オーブンカバーはまた20kgまで荷を積むことができユーザーが均等性を達成し、ゆがみの問題を防ぐことを可能にします。さらに、TEL ALPHA 303 Iには、ドライクリーニング用のケミカルエンドポイント検出ツールを搭載し、400mm均一マッピングアセットを装備しています。これにより、ユーザーは安定したプロセス制御を確保し、正確なバッチプロセスデータを取得することができます。さらに、アルファ303iは特殊な低抵抗セラミック仕上げでコーティングされており、最高の精度、均一性、再現性を提供します。TEL ALPHA-303 Iは、優れた完成度、品質、再現性を確保するために、ユーザーに幅広い機能を提供する先進的な機器です。これにより、ユーザーは高品質で多種多様なプロセスを実行することができます。