中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251683 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、先進的なシリコンウェーハに特化した電子デバイス製造に優れたシングルウェーハ拡散炉です。拡散、エッチング、蒸着プロセスに最新の技術を使用しています。TEL ALPHA-303Iは、自動液体搬送システム、手動液体充填、前後のロードロック、アクティブフロントとリアの開口部など、多種多様なアクセサリーを取り揃えています。さらに、高度なスリットバルブ設計により、正確なプロセスガス配送と温度精度を保証します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303オープンで使いやすいフローデザインを採用。これにより、フロントとリアのフローを独立して同時に制御できます。それにまた220°C。までの温度に抗できる作動のプラットホームおよび防蝕部屋があります。ALPHA-303 Iの部屋はそれを非常に信頼でき、耐久にさせる高級な、耐食性材料から組み立てられます。さらに、炉の温度を最適に均一にするために、垂直型直発熱体を利用しています。TEL ALPHA-303高収率の3ゾーン加熱ドレープユニットにより、750〜1100°Cの範囲で± 2〜3°Cの温度均一性が向上しました。また、N₂,CO₂、 S₂O₂,CF₂,O₂#、H₂,NH₃、 SF₆など様々なガスを利用し、真の多目的拡散炉となっています。さらに、キーロック可能な始動・停止機構、自動接触チェック装置、光学検査ツールなど、ユーザーの安全を確保するために設計された安全機能を備えたTOKYO ELECTRON ALPHA-303I。光学検査アセットは、チャンバーが汚染から解放されることを保証します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303私は非常に効率的な拡散炉モデルで、優れた性能を提供します。高いスループットと精度で設計されているため、品質が向上し、プロセスサイクルが高速化されます。独特な設計、高度の付属品および非常に信頼できる安全特徴によって、それはあらゆる電子装置製造業者のための優秀な選択です。