中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9251681 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
ID: 9251681
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
LPCVD Systems, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i (TEL)拡散炉は、多種多様な金属、合金、間金属化合物を迅速かつ効率的に拡散するために設計された高性能ユニットです。プロセスパラメータの迅速かつ正確な再現性を提供するように設計された自動制御装置を備えているため、高スループット拡散プロセスに最適です。TEL ALPHA-303Iは、3ゾーンサポートを備えたパーティクル分散熱伝達システムを備えており、それぞれに独立した温度制御と、高精度な温度制御をサポートする独立した調整可能なガスの流れを備えています。このチャンバーは、高速熱再生のために設計されており、0。05ミクロン程度の汚染物質を捕捉するように設計された超高線量粒子収集ユニットが含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303内部ヒーターからの放射を誘導する高温セラミックリフレクターや、放射損失を低減するための特大チャンバーウォールも装備しています。その低い慣性の設計は速い暖房時間および速い開始時間を保障します。TEL Alpha 303iは、プロセスパラメータへのアクセス、パラメータの監視、時間/温度プロファイルの設定、ガス流量の調整、安全パラメータの設定を容易にする、使いやすいメニュー駆動のオペレータインターフェイスを備えています。タッチスクリーンディスプレイは、ウェブサーバを介して詳細な編集とリモート監視を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iには、これらの高度な機能に加え、サーマルシャットオフ回路、圧力安全スイッチ、密閉ガス接続、極端な温度警報など、多くの安全機能が搭載されています。これらの機能により、最高レベルの安全性と精度を必要とする高容量製造プロセスに最適です。全体として、ALPHA-303 I拡散炉は、多様な金属、合金、および間金属化合物を処理するための信頼性が高く、効率的で安全なユニットです。自動化された制御機械は、プロセスパラメータの正確な再現性を可能にし、高度な安全機能により、高容量製造プロセスに最適です。
まだレビューはありません