中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9235827 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体製造用に設計された拡散炉と付属アクセサリーのコレクションです。高度な真空加工、ウェーハ、抵抗加熱、ユーティリティコントロールを独自に組み合わせ、より高い精度、効率、再現性を発揮し、加工性能を向上させます。このシステムは、TEL ALPHA-303Iチャンバーを中心に構築されており、高速サイクルタイムとタイトな温度制御により、優れた結果が得られます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、急速な多層基板拡散プロセスのための1,500リットルの機械加工ステンレスチャンバーと、均一な温度分布のための高効率の石英ベル型サセプターと石英ハロゲンランプを備えています。クローズドチャンバーのダブルドア設計により、プロセス制御が強化され、製品品質が向上します。TELの高精度、リニアドライブのUPECB加工制御がユニットの性能の中心です。UPECBは環境条件に自己調節します、それは絶えず機械を再校正する必要性を除去します。UPECBはまた、正確な基板温度のための正確なガス/真空制御、ならびにチャンバー内の均一性の向上を保証します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303性能を高めるためにデザインされたアクセサリーが付属しています。チャンバーの内部を汚染から保護するために、このツールには慣性粒子クリーナーが装備されており、ワークピースの上に窒素の流れを循環させます。また、より高速かつ均一な拡散処理を可能にする回転石英ボートが含まれています。性能と品質を確保するため、ALPHA 303 Iには、自動化された処理のためのケミカルインターフェース、監視と制御のための真空タップ、およびさまざまな安全システムとインターロックが含まれています。データロギングと処理を可能にするために、アセットには7インチのタッチスクリーンディスプレイとオペレータパネルが内蔵されており、簡単な制御と詳細なプロセスドキュメントが可能です。TEL ALPHA-303 I拡散炉は、半導体業界のプロセスエンジニアにとって不可欠なツールであり、最高の性能と製品品質を確保するための精度、効率、再現性を提供します。