中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9229590 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、TEL （TOKYO ELECTRON）が産業用に設計・製造した先進的な拡散炉です。この拡散炉は、半導体製造、太陽電池製造、エッチングプロセスなど、さまざまな業界で広く使用されています。これは、Type 30 Wafertron Furnace、 Alpha 30 Wafer Carrier、 Alpha 8 Dual-Chamber Flattening Toolを含む統合機器です。タイプ30ウェーファトロン炉は、最大1150°Cの温度制御と、内蔵のブローバック機能を可能にし、低応力拡散プロセスを可能にします。この炉には、高温帯と低温帯の間に均一な温度フィールドを維持し、タイトな温度プロファイルを確保する2ゾーン「Z軸」システムもあります。Alpha 30ウェーハキャリアは、さまざまなサイズのウェーハを処理するために設計されており、炉を通して直径6インチ（150mm）までウェーハを移動できます。エアクッションとサポートが装備されており、スムーズで安全な輸送を保証します。アルファ8デュアルチャンバーフラットニングツールは、拡散炉アクセサリーの最新技術を使用しており、高速で制御された空気圧フラットニングプロセスを可能にします。このユニットは、チャンバーを加圧してウェーハを自動的に平らにする圧力を放出することにより、ウェーハの厚さをより正確に制御することができます。TEL ALPHA-303Iは、革新的なデザインと高度な機能により、信頼性と効率的なパフォーマンスを提供します。これは、精密温度制御と近代化されたチャンバー設計を組み合わせており、ユーザーはさまざまなアプリケーションに必要な正確なパラメータを達成することができます。この機械はまた利用できるベテランエンジニアによってテクニカルサポートを提供するために必要なとき支持されます。