中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9224009 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体デバイスの製造に必要な少量から中量の拡散プロセスを容易にするために設計された拡散炉およびアクセサリ装置です。この統合システムは、8インチのウェーハ転送ランプ、8インチのヒーター、および隣接する処理ユニットへのリンクで構成されています。8インチウェーハ搬送ランプは、機械の不可欠な部分であり、ウェーハ搬送ステップの均質な照明源を提供します。高い使用効率、柔軟な電源設定、高度な光学設計を備えています。8インチヒーターは対流加熱法を使用して、拡散プロセス中に8インチウェーハ全体にわたって均一な温度を維持します。また、微細な温度制御と広い温度範囲を提供しています。TEL ALPHA-303Iは様々な加工システムに対応しており、隣接する部品間での簡単なウェーハ転送が可能です。このツールはまた、手動と完全に自動化された操作の両方を提供し、ユーザーは特定のプロセスに適応することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、偶発的な機器の損傷を防ぐために、他のシステムから炉を隔離する統合安全資産を含みます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303私は信頼性を念頭に置いて設計されており、診断機能とデータロギング機能を強化した独自の制御モジュールを備えています。これにより、モデルは大量のデータを収集、記録、分析することができ、オペレータはトレンドをすばやく特定し、是正措置を講じることができます。また、TEL ALPHA-303 Iには、内部温度を監視するためのオプションのサーマルイメージングカメラも搭載しています。ALPHA-303 Iは、拡散処理を行いながら、可能な限り最高レベルの精度と信頼性を提供するように設計されています。東京電子ALPHA-303Iは、高度な設備統合、高い電力効率、安全性を兼ね備えた、低中量拡散処理に最適なシステムです。