中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9211140 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体製造に特化した先進的な拡散炉・アクセサリーです。その高度な加熱技術は、高度なデバイス構造のための信頼性の高い熱拡散プロセスを保証します。TEL ALPHA-303Iは、3cm炉室と呼ばれる新型の大面積炉室を備えています。このチャンバーは、均一な熱分布に最適化された3次元設計で、チャンバー温度と基板のマッチングを改善します。また、リアクタントガスを効果的に捕捉し、デバイス構造の汚染を防ぎます。このチャンバーは、自動化された手動転送とも互換性があり、また、最適化された窒素またはアルゴン処理のための新しい真空ゲートバルブとベローカップリングを備えています。東京電子ALPHA-303私はまた信頼できる熱拡散のための二重温度測定装置を特色にします。サーマルカップル測定ヘッドを使用して、基板の両側の温度を正確に検出し、プロセス条件の信頼性の高い制御を可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303正確かつ再現性の高いプロセスを可能にする自動配信ユニットも備えています。このマシンは、マルチチャンネルデジタルフローコントローラとモジュールを簡単に取り外すためのさまざまなポートを備えています。自動デリバリーツールは、効率的なプロセス管理のための自動化された制御ソフトウェアと相まって、正確かつ再現可能なプロセスを可能にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、半導体製造に特化した先進的な拡散炉とアクセサリーです。高度な加熱技術により、高度なデバイス構造の信頼性の高い熱拡散プロセスが保証され、デュアル温度測定アセットと自動配信モデルは、正確で再現性の高いプロセスを提供します。さらに、3cm炉のチャンバーはチャンバー温度と基板のマッチングを改善し、リアクタントガスを捕捉して汚染を防ぎます。