中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9167199 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、薄膜成膜の工業用および研究用に広く使用されている拡散炉です。TEL ALPHA-303Iは、直径6インチクォーツリアクター室、ガスインジェクション装置、クォーツサセプター、温度コントローラで構成されています。温度調節器は1100°C。まで安定した、正確な基質の温度を提供する一流PIDのアルゴリズムを特色にします。システム全体が直感的なユーザーインターフェイスを持つタッチパッドコントローラを介して動作します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私の拡散炉は、石英るつぼの周りに壁を持つ垂直石英室です。チャンバーには、窒素、水素、アルゴンなどのガスをチャンバーに注入できるガス注入ユニットがあります。このガスは、るつぼの周りに保護シールドを作成し、汚染から保護するためにも使用されます。熱制御機械は水晶るつぼの温度および部屋の温度をそれぞれ監視する2つの熱電対の入力から成っています。拡散炉の下流には、真空工具、メカニカルドア、高温ベローズ、コールドトラップ、圧力計、ガスパージフィッティングなどのアクセサリーがあります。他のオプション部品には、複数のポートインジェクタ、複数のゾーンインジェクタ、炉マニホールド、バルブハウスなどがあります。アルファ303i拡散炉は、優れた温度均一性と再現性、および優れた熱安定性を提供します。これにより、高品質の薄膜成膜プロセスが保証されます。また、低コストのコンポーネントは長持ちし、他のモデルよりも簡単に交換できます。要約すると、ALPHA 303 I拡散炉とアクセサリーは、優れた温度制御と均一性、優れた熱安定性、および費用対効果を提供します。薄膜成膜における産業および研究用途に適しており、製造の専門家にとって貴重で貴重なツールとなっています。