中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 を販売中
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販売された
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
(1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000
Process Condition: LP
Maximum Operating Temperature: 1000°C
N2 Load Lock: Yes
Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch
Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder
Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation
Software Version: 2.06
Furnace:
(1) Loading Area Light: White (LED)
Force Air Cooling system: None
Side Maintenance: None
(1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD
(1) N2 Boat shower wafer cooling: installed
(1) Furnace Temperature Controller: M560A
Wafer/Carrier Handling:
Carrier Type: FOUP (25) slots (STD)
Carrier Stage Capacity: 16
(1) WTU Type: 1+4 Edge Grip
WTU alignment: None
WTU Teaching method: None
Gas Distribution:
IGS Maker / Type: AREA
IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel)
IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO
Exhaust:
Vacuum Gage - 2 torr: None
(1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06
Vacuum Gage - 100 torr- None
(2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06
(1) Main Valve: MKS-99C1274
(1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800
Low vacuum valve: None
(1) Trap: Disk Trap
(1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast
Reactor:
(2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340
(2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz
Inner Tube Type (AP): None
(1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type
(2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch)
(1) Boat Rotation: installed
(1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins
(1) Auto Shutter: installed
Power Distribution:
Voltage, 3 Phase: 208VAC
Voltage, Single Phase: 120VAC
Frequency: 60Hz
User Interface:
(2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed
(2) Indicator Type: Superset
Operation software type: Linux
(4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3
Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、先進的な半導体プロセス向けの拡散炉&アクセサリーです。TEL ALPHA-303Iは、信頼性の高い性能、調節可能な温度制御、および最大の再現性のための幅広い機能を提供する、汎用性の高い高速、高品質の拡散炉です。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、石英サイドウォールと455Lのホットゾーン容量を持つシングルチャンバー炉です。この拡散炉は、急速な温度変化が可能な低熱質量放射加熱装置を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303プロセスチャンバー内の温度均一性を最適に制御する3ゾーンベーキングシステムも搭載しています。アルファ303iには、ウェーハボートをプロセスチャンバーに自動転送できる垂直リフトサンプルローディングユニットも含まれています。ウェーハボートは、冷却プロセスを最適化するために、2つの異なる温度に自動的に上昇させることができます。さらに、プロセスチャンバの温度は、プロセスのニーズに応じて事前に設定することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iマシンは、クローズドループ冷却ツールを含む包括的なアクセサリーを装備しています。このアセットは、センサーを使用してプロセスガスの温度を測定および制御することにより、プロセスチャンバー内の望ましい温度を維持するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、高速で信頼性の高いレシピや高度なパラメータセットアップのための統合された自動レシピジェネレータなど、さまざまなプロセス制御対策も備えています。また、温度、流量、圧力、総ガス流量など、さまざまなプロセスパラメータのプロセスモニタリングも可能です。ALPHA 303 Iは、非常に高速で正確なサーマルサイクルを可能にするように設計されています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iモデルは、高精度温度制御により、再現性と再現性に優れています。TEL Alpha 303iは、水冷式の真空ポンプをはじめ、プロセスチャンバーからプロセスガスや空気をすばやく排出することができる安全機能も備えています。これにより、動作中の最大の安全性が保証されます。TEL ALPHA-303 I装置はまた、バックアップガス供給システムを備えており、プロセスチャンバーが常に適切なプロセスガスを適切に供給されるようにしています。ALPHA-303私は、高度な半導体プロセスに優れた性能と再現性を提供する信頼性と汎用性の高い拡散炉&アクセサリーです。その安全機能の範囲は、その高度な温度制御対策と相まって、それはさまざまなプロセスのニーズのための強力で安全なソリューションになります。
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