中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293829711 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、最大1100°Cの温度でウェーハなどの基板を加工するための熱拡散炉およびアクセサリです。このツールは、迅速な熱勾配を備えたダブルゾーンの熱帯を利用して、より速い生産時間、より高い温度、およびより高い歩留まりを可能にします。TEL ALPHA-303Iのコアコンポーネントには、加熱チャンバー、ガス移動リング、温度制御モジュールがあります。自動化された基板処理装置は、予熱、エッチング、および成膜のためのプロセスチャンバに均一な基板を提供します。さらに、統合された水冷式および強制排気換気システムも提供しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iには、高度なプログラミングパラメータとオプションを備えた最新のThermco Series IIIコントローラが搭載されています。その内蔵圧力センサは、厳しいプロセス制御を確保するために炉のドア圧力と熱窒化物排気圧を監視します。単位のオートメーションの側面はさらにプロセス部屋の拡散率そして温度の均等性を簡単にします。便利なフロアレベルのホットガスバイパスと排気ファン制御を備えており、安全な操作を確保するために手動でオーバーライドすることができます。また、火炎検知機などの高度な安全機構も備えており、危険レベルの可燃性ガスを検知すると自動的に電源を遮断します。TEL Alpha 303iは非常に効率的で、メンテナンスを最小限に抑える必要があるため、効率的で信頼性の高い拡散炉を探している企業に最適です。均一で反復可能な結果を提供し、高品質のウェーハおよび基板処理を実現します。安全機能、ハイエンドプロセスの最適化、使いやすさを兼ね備えた東京エレクトロンアルファ303iは、信頼性の高い拡散炉を探しているメーカーに最適です。