中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293766646 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303iは、半導体・ディスプレイ業界向けの次世代拡散炉・アクセサリーです。フルオート、高温、超高真空（UHV）イオンビーム（FIB）とスパッタ蒸着装置です。TEL ALPHA-303Iは、高解像度イメージング、高スループット、スパッタ成膜の正確な制御、各種アプリケーション向けの柔軟なプロセス設計により、優れた性能を提供します。それは同時に装置構造を沈殿させ、エッチングし、そして造ることができます。自動化されたシステムは、優れたプロセス均一性を提供し、短い製造時間を達成するために構成することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、最高温度と真空レベルで熱、ラジカル、原子を提供するインラインリアクタスイートを使用し、プロセス精度と再現性を大幅に向上させる設計を改善しました。垂直マルチチャンバー設計により、すべてのチャンバーで迅速かつ同時に温度サイクルを行うことができ、排気ユニットは残りの酸素、窒素、およびその他の可能な汚染物質を効率的に除去します。オプションのTELマルチソースイオンインプランターは、デュアルビーム、グループアレイ、シングルエリアモードなど、さまざまなインプランティングモードの利点を提供する高度なインプラント技術です。このツールは、これまでにない高用量の精度と均一性、および低ビームオフ時間を提供することができます。ALPHA 303 Iには、より高速で安全なウェーハ転送を実現するように設計された高度なウェーハローディング資産も装備されています。ウェハローディングシステムは、自動知覚モデルと自動ウェーハ検索装置の組み合わせにより、ウェーハの処理時間を短縮し、異物汚染を防ぐことができます。このユーザーフレンドリーなユニットは、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iプロセスルールと互換性があり、高度なプロセス制御と機械内分析により、迅速な導入が可能です。ALPHA-303私は自動ステッパー、AFM、およびイメージングツールを含む他のシステムと統合することができます。Alpha 303iは、ワイヤを溶接し、回路を作り、層を形成するための信頼性の高い費用対効果の高い方法を望むメーカーにとって優れた選択肢です。高度な資産設計により、ALPHA-303Iは高いスループットニーズに対応する高効率で信頼性の高いソリューションを提供できます。