中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293758336 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、先進的な直接結合デュアルチャンバー拡散炉を搭載した最先端の半導体加工ソリューションです。このソリューションは、高度な半導体製造の効率化、高速化、信頼性の向上に役立ちます。この炉のユニークな設計は、両方のチャンバーを同時に使用することを最大限にし、コーナーレス設計による汚染の低減に役立ちます。TEL ALPHA-303Iはロボットロックを内蔵した全自動システムです。このロードロックにより、部品の積み降ろし時のチャンバー汚染の可能性を最小限に抑えます。ユニットに含まれているカスタマイズされたソフトウェアは、プロセス全体を簡素化し、複数のシーケンスを迅速かつ簡単に整理するのに役立ちます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、優れた性能、優れた均一性、最適な精度を提供するように設計されています。過酷で過酷な環境でも優れた均一性と温度安定性を提供する、多機能加工環境です。コンパクトなチャンバー内のバーナーは、競争力のあるシステム間で最高の転送効率と最適な蒸着速度を提供することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iに搭載された高度なTEMI-2コントローラにより、データ解析と迅速なリアルタイムプロセス制御を安全に実行できます。コントローラには、自動/手動のオンザフライチャンバー調整機能、複数のユニット管理、リアルタイムのin-situ測定などの最先端の機能も装備されています。Alpha 303iは、その大きなプロセス面積とモジュール設計のために基板の広い範囲と互換性があります。これにより、ドーピング、アニーリング、PVD、 CVDなどのさまざまなプロセスに最適です。炉はまた、排気機、サーマルリミッター、安全インターロックシャットオフ工具などの高度な安全機能で設計されています。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、優れた性能、均一性、精度を提供する高度で汎用性の高い信頼性の高い拡散炉アセットです。堅牢な設計、ユーザーフレンドリーなインターフェイス、高度な安全機能を備えたこのモデルは、さまざまな規制産業分野で成功した堆積プロセスを提供することができます。