中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293754732 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体品質の製品を製造するために使用される拡散炉およびアクセサリーです。拡散、酸化、LPCVDなど、さまざまなプロセスで使用できます。TEL ALPHA-303Iには手動機能と完全自動機能があり、非常に使いやすいです。また、少量生産にも適しており、プロセス制御とモニタリングの改善により、より大きな収量を得ることができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303最大出力は110kWで、出力と温度のプロファイリングは調整可能です。チャンバー寸法は直径35。4cm、深さ35cmで、最大基板サイズは直径300mmです。この炉には、加熱されたサセプターと完全な窒素能力を備えた6つの加熱ゾーンがあります。これにより、酸化の評価、不純物の拡散、シリシデーション、多層蒸着などの標的研究が可能になります。また、1100°Cまでの高温プロセス互換性を提供することができます。TEL Alpha 303iには、ガス注入システムを介して最大6つのガス入力チャネルと、温度やプロセスのさまざまな段階で使用されるさまざまなガスなどのパラメータを制御するためのリアルタイムフィードバックを提供するオプションのin-situ計測システムがあります。また、50/60 Hzの電力とバランス/アンバランスAC電源を含む加熱用のさまざまなソースを受け入れることができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は簡単にレシピの保存、編集、読み込みを可能にするレシピを備えています。これにより、エンジニア、技術者、生産スタッフにとっても非常にユーザーフレンドリーです。また、E-Stop、 Over Temperature and Pressure Ararm、火災検知システムなど、工場に設置された安全機能も備えています。TEL/TOKYO ELETRON ALPHA-303Iは、多種多様な半導体生産アプリケーション向けの優れた拡散炉およびアクセサリーです。使いやすい機能により、高品質のプロセスを実行しながら生産歩留まりを増やしたいお客様に最適です。