中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293658608 を販売中
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ID: 293658608
ヴィンテージ: 2005
Furnace, 12"
Type: Automation
Heater
Process chamber
Temperature controller
Scavenger cooling water Unit
Gas supply unit
Exhaust vacuum line
Power box
Rapid cooing unit
Pump box LCVD system
Missing parts:
Quartz wares
Process tube
FUJIKIN MFC Air valve
APC CKD
Gas: PN2, N2, 0.1%PH3, SiH4, CIF3
Power supply:
3 Phase, AC 208V
Single Phase, AC 120V
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、高精度で信頼性の高い性能を提供しながら、優れた柔軟性を提供する拡散炉です。半導体材料の加工に最適な大規模産業用途に最適です。TEL ALPHA-303I処理ステーションは、以下を含むいくつかのコンポーネントで構成されています。 （有機発光ダイオード）タッチコントロール入力付きパネルディスプレイ-アナログ-デジタルコンバータ （A/D）温度、圧力、および電圧を調整する回路基板 -正確なガス分散のためのガスの調節および配分装置-超精密の温度の成長制御およびモニタリングシステム -手動部屋のクリーンユニット-電力供給を調整するためのパワーコントロールボード ・エクストラクターを内蔵したVacuum排気機TOKYO ELECTRON ALPHA-303拡散炉の技術をリードする最先端の機能を搭載しています。最先端のOLEDテクノロジーにより、ユーザーはさまざまなパフォーマンスとモニタリングオプションにアクセスでき、オペレーティングプロセスを究極的に制御できます。A/D回路基板により、作業温度、圧力、および電気を正確にインデックス化し、監視することで、動作中の完全な精度を得ることができます。GAIN-220ガス供給ツールは、正確なガス圧力と分散を確保するためにオンサイトの流体供給資産を提供し、3DGrow制御モデルは、動作中の公称温度からの偏差を監視および検出することができます。最後に、手動チャンバークリーン装置と真空排気システムは、廃棄エネルギーを同時に削減しながら、信じられないほどクリーンで効率的な操作を保証します。全体的に、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は、近代的な機能と高度な技術の印象的なブレンドで印象的な製品です。これらの材料を加工する際に優れた精度と応答時間を提供し、さまざまな業界での使用に最適です。これらの特長により、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iは、半導体材料に関わるあらゆる産業用途に必要不可欠な製品です。
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