中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293652596 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは高品質でプロフェッショナルなグレードの拡散炉です。この炉は、望ましい電気特性を作り出すために、半導体業界でドーパントを基板に拡散させるために使用される熱処理装置の一種です。このモデル、TEL ALPHA-303Iは、制御された環境で基板を均等に加熱して冷却するように設計されています。これは、統合されたウェーハ転送ロボットと多くの生産ラインのニーズを満たすために反転ローダが付属しています。大きなチャンバーサイズとクローズループ規制により、機器の稼働に遅延や全体的なダウンタイムがなく、非常に効率的に動作します。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 Iは、インプラント、ドーパント、窒化、プレクリーンプロセス、その他の熱処理プロセスなど、さまざまな用途に適しています。優れた均一性、セットアップ時間の短縮、および他の同様のシステムよりも高いスループットを提供します。アルファ303iは900°Cまでの温度で、プラズマ加熱発電機で材料の熱拡散を保証します。それに特別な温度調整プログラムおよび可変的なプロセス部屋があり、複雑な操作のために適したようにします。TEL ALPHA 303温度、圧力、プラズマ、その他のパラメータを制御するための完全自動システムも備えています。高度なシステム機能により、プリセットから別のプリセットへの迅速な切り替えや、リアルタイムのプロセス制御が可能になり、拡散プロセスを完全に制御できます。この製品には、ローディングシステム、ウェーハハンドリングツール、真空ポンプ、プロセスセンサーやモニターなど、さまざまなアクセサリーも付属しています。強力な機能と使いやすい機能を兼ね備えたALPHA-303I拡散炉は、熱処理のニーズに合わせてプロ仕様の機器やアクセサリーを必要とする方に最適なソリューションです。