中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293636078 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、半導体チップの製造加工用に設計された拡散炉および関連アクセサリーです。TEL ALPHA-303Iは最大1200°Cの温度での拡散処理が可能で、浅い接合部と深い接合部の両方の形成に適しています。プロセスのカスタマイズを可能にする機能には、過熱保護のための炉源電源設計、フルレンジのフィードバックプロセス装置、および複数の温度ゾーンの独立した制御などがあります。303iのHuman-Machine Interface （HMI）には、高度なインターロックと診断機能も含まれており、柔軟性、安全性、生産性をユーザーに提供します。その効率的な拡散レトルトチャンバー設計は、優れた均一性プロファイルを維持しながら、プロセスの均一性を保証します。さらに、303iには優れたRFジェネレータ性能があり、特定のレイヤーやアプリケーション要件に合わせて調整することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303私は高度な環境保護機能を備えています。これらの機能には、超低水流量、専用クーラントチラーシステム、オゾン保護が含まれます。さらに、さまざまなプロセス要件に対応するための幅広いガスを取り扱うためのガスパミネーションユニットを装備しています。また、ガスアナライザと併用して、プロセスパラメータを確実に維持することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303Iには、プロセス汚染を制御するための真空ポンプソリューションもあります。このユニットは、高容量の真空ポンプと独立した差動圧力計によって駆動され、効果的なプロセス制御を保証します。さらに、資産サービスと一般的なメンテナンスのためのマルチターンバックメンテナンスツールを備えています。全体的に、Alpha 303iは大きく、強力で、効果的な拡散炉と関連付けられた付属品です。高度な技術により、広範囲の拡散処理環境に適しています。正確な制御と均一性を備えたTEL Alpha 303iは、半導体チップ生産に効果的で信頼性の高いソリューションです。