中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #293635550 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303iは、イオン注入プロセス用に設計された拡散炉と付属のアクセサリーです。この高効率デバイスは、プロセス時間が短く、ウェーハ表面の均一性が向上し、分布の均一性が優れています。TEL ALPHA-303Iは一度に最大6枚のウェーハを収容でき、短時間で大量の材料を加工することができます。この炉は直流(DC)電力を利用して均一な表面濃度を作り出し、RF電源を搭載してプラズマ生産を削減しています。独自のクォーツチャンバー設計により、ウェーハの表面汚染を最小限に抑えます。調節可能なコントロールパネルにより、蒸発器の温度、拡散炉の積載速度、拡散感受性などのパラメータを調整できます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303オートキャリアにも対応しており、ウェーハ径にも対応しています。この柔軟性により、リツーリングを必要とせずに幅広い試料を処理することができます。さらに、直感的なユーザーインターフェイスは、トラブルシューティングやその他の操作活動を容易にします。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303特殊な窒素大気モジュールも内蔵しています。大気モジュールは、大気条件を正確に制御することができ、高いウェーハ歩留まりを可能にします。この炉はシングルポートとデュアルポートの両方で設置でき、重要なプロセスステップの結果を追跡するための排気ロギング装置を備えています。TEL ALPHA-303私は、陽極結合、分子結合、溶融堆積など、ウェーハ表面処理の最先端オプションを提供しています。これらのプロセスは、インプラントのプロセスを成功させるために必要な清潔さと表面仕上げを提供します。さらに、自己診断システムを使用して、プロセスのエラーを検出し、即座に修正することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 Iは、高度な拡散炉と関連アクセサリーで、優れた性能と着床プロセスの結果を提供するように設計されています。このデバイスには直感的なユーザーインターフェイスと残留ロギングユニットが組み込まれており、高品質の結果とサイクルタイムの短縮を可能にします。このマシンの柔軟性により、複数のウェーハを短時間で処理でき、全体的な結果が向上します。
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