中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxide #293597095 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i Oxideは、シリコンウェーハの熱酸化を目的とした拡散炉とその付属品です。この炉は、小さなラボスケールと生産スケールの両方で均一な熱酸化を提供するように設計されています。一定温から定常酸化プロファイルまで、高純度の酸化物を生成することができます。ウェーハ負荷の近くにある酸化温度とマスフローコントローラを制御するために、垂直構造の炉を使用して、ウェーハの高効率熱処理を提供します。この装置は完全な熱調整のために設計されており、基板表面積にわたって非常に低い熱勾配を持つ定常温度を提供します。炉は低い製作費用および維持と熱機械的に安定した、険しく、耐久です。拡散炉には、独自のデュアルシャフトドライブシステム、調節可能なゾーンバイゾーン温度、圧力コントローラ、デジタル温度/圧力プリセットなど、いくつかの機能が含まれています。デュアルシャフトドライブは、機械式ドライブを使用して温度オーバシュートや不安定なしで安定した温度制御を提供しますが、調節可能なゾーンごとの温度により、ユーザーはさまざまな温度でシリコンウェーハのさまざまな領域を同時に処理できます。さらに、圧力コントローラとデジタル温度/圧力プリセット機能により、酸化物蒸着プロセス中の圧力と温度を正確に制御できます。TEL ALPHA-303I OXIDEの主な利点の1つは、合理化されたオートメーションです。自動運転モードとオンボード、コンピュータベースのユーティリティは、簡単で効率的な操作と熱酸化レシピのセットアップを提供します。このユニットは、拡散後に各レシピを徹底的に分析するため、プロセスおよびデバイスパラメータのトレーサビリティも提供します。これにより、すべてのプロセスパラメータが正確に制御および記録され、最適な歩留まりと最適な品質が保証されます。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I OxIDEには、異常温度上昇時のオートシャットオフや、酸化炉の異常を示す排気ポート警報などの安全機能もあります。さらに、マシンは手動または自動モードで操作でき、ユーザーの柔軟性と安全性を可能にします。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I OXIDEは、高効率で信頼性の高い拡散炉であり、小規模及び大規模熱酸化プロセス、高品質で均一で薄い酸化物層の製造に最適です。優れた熱性能により、低熱勾配の定常温度を実現し、結果として得られる品質とプロセス歩留まりを向上させます。さらに、合理化された自動化と安全機能により、使いやすさと操作性を確保しながら、最適な生産性と精度を提供します。