中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596435 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i窒化物はハイエンド拡散炉と関連アクセサリーです。3次元化学蒸着（CVD）と多種多様な材料の拡散が可能なマルチゾーン・シングルウエハ熱処理装置です。TEL Alpha 303i窒化物のラインアップには、窒化物、耐火金属、遷移金属CVDモジュールと同様に、高出力の窒素結晶成長モジュールが含まれています。TEL独自のIFEC （Integrated Furnace Electronic Controller）は、熱プロセスを制御および管理するための包括的なオプションを提供します。TOKYO ELECTRON Alpha 303i窒化物は、最大ウエハサイズ300mmの大型ウエハに対応するよう設計されています。1工程に最大16個のウェーハに対応可能で、高いスループットにより大規模生産に適しています。このマシンはまた、室温から1100°Cまでの広範囲の高温機能を提供しています。アルファ303i窒化物の「冷却ロール」は急速な冷却を可能にし、熱プロセスの間にウェーハを保護するのを助けます。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i窒化物最高純度の窒素、アルゴンなどのガスを利用し、高品質の熱処理を実現しています。オンボードオートメーションソフトウェアは、操作を容易にし、高精度で生産歩留まりを維持するのに役立ちます。オプションのDigital Image-Processing System （DIPS）は、窒化物および耐火材料の厚さ分布を適応的に制御します。TEL Alpha 303i窒化物は、人員の怪我を防ぐための赤外線安全窓、およびガス漏れを検出および防止する壁に取り付けられた安全ユニットを含む高度な安全機能を統合しています。炉にはリアルタイム監視機が装備されており、発射温度、圧力、ガスの流れの状態を監視します。さらに、ツール内のウェーハと石英チューブを追跡するための特別なツールも利用できます。TOKYO ELECTRON Alpha 303i窒化物は、効率的で信頼性の高い拡散炉であり、大規模な生産に適したCVD資産です。その強力な窒素結晶成長モジュール、広い温度範囲、および自動化されたシステムは、熱プロセスを正確に制御し、生産歩留まりを最大化するのに役立ちます。機械は人員および装置を保護する多数の安全特徴を含んでいます、それを窒化物および処理し難い金属の熱処理のための理想的な選択にします。