中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i Nitride #293596434 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ303i窒化物は、半導体産業のために設計された拡散炉とアクセサリーです。これは、最も要求の厳しいプロセスのニーズを満たすように設計されており、薄膜の成膜およびエッチング、表面処理、酸化、窒化物処理などの幅広い用途に使用されています。TEL Alpha 303i窒化物は、垂直直加熱ホットゾーン装置と垂直アクセス容量を使用した高性能拡散炉です。この構成は、正確な熱均一性、優れた温度安定性、およびウェハレベルでの温度分布の正確な均一性を提供します。垂直ホットゾーン加熱システムと拡張アクセス量を使用することで、ウェハレベルでの均一な温度分布の均一性を最大化し、プロセスと製品歩留まりを向上させます。東京電機アルファ303i窒化物には最新の温度制御技術が搭載されており、正確な温度設定、ランプレート制御、炉内サイクル制御が可能です。プロセスパラメータの簡単な監視と設定を可能にするタッチスクリーンコントローラが付属しています。プロセスパラメータの自動設定と制御のためのプログラマブルロジックコントローラ（PLC）も装備されています。ホットゾーンは、熱源として機能する電気伝導性材料でできており、さらに熱伝達を最大化し、熱均一性と温度安定性を向上させます。ホットゾーンには、温度制御に使用される電流を制御および調整するのに役立つアノードアセンブリも装備されています。Alpha 303i窒化物には、プロセスオペレーターの安全性を確保するための安全機能も付属しています。過熱警報、爆発・火災警報、非常用電源の遮断などの周囲保護機能を備えており、炉の運転中にホットゾーンの開閉を防止する自動インターロックユニットを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 303i窒化物機械は最高のプロセス柔軟性を提供するように設計されています。それは窒化物の処置のためのさまざまなプロセスレシピと共に異なったウエハのタイプおよびサイズの広い範囲を扱うことができます。また、プロセスの安定性と優れた製品歩留まりを確保するために、簡単なワンタッチキャリブレーションとさまざまな診断ツールを備え、迅速かつ簡単なメンテナンスのために設計されています。両面窒化コーティングには、デュアルウェーハアライメントを同時に使用することもできます。結論として、TEL Alpha 303i窒化物は半導体産業のために設計された高性能の拡散炉および付属品です。最新の温度制御技術と安全機能を搭載し、最大限の安全性とプロセスの安定性を確保しています。窒化物処理のための幅広いウエハータイプ、サイズ、プロセスレシピを扱うことができ、プロセスの柔軟性と優れた製品歩留まりを提供します。